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一种适用于介质阻挡放电型准分子灯的双极性脉冲式供电电源
陈勇权, 唐雄民, 周泽鑫, 林志宏
A bipolar pulsed power supply suitable for dielectric barrier discharge excimer lamp
CHEN Yongquan, TANG Xiongmin, ZHOU Zexin, LIN Zhihong
电工电能新技术 . 2023, (
5
): 36 -46 . DOI: 10.12067/ATEEE2205020